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穿透式电子显微镜与扫描探针显微镜解析度可达到0.6nm

显微镜量测技术

量测技术

能达到原子级解析度的仪器：

穿透式电子显微镜(Transmission ElectronMicroscope ： TEM) 与扫描探针显微镜(Scanning Probe Microscope：SPM)。

而场发射扫描式电子显微镜(Field Emission GunScanning Electron Microscope：FEG SEM)发展快速。

目前解析度已可达到0.6nm

利用X光绕射分析计算颗粒大小，因具快速性与方便性