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测量玻璃平整度与缺陷的光学仪器简介

测量玻璃平整度与缺陷的光学仪器简介

平均高度差了42 倍之多，可见扫描行程越长，其测量精度越

高。

结合表面电浆共振及外光程外差干涉术，来测量玻璃平整度与缺陷，具有架构简单、准确性高的优点，

而且为非接触式量测，使得待测物不受任何限制，证明本实验

的量测方法，具有很好的学术研究价值，可一直深入研究，并

且具有很大的产业应用潜力及开发价值，相信不久将来，此方

法将可在光学量测技术占有一席之地

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